半導(dǎo)體制造業(yè)中氮?dú)庵械脑诰€露點(diǎn)儀選用英國肖氏進(jìn)口露點(diǎn)分析儀

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半導(dǎo)體制造業(yè)中氮?dú)馐欠浅３Ｓ玫臍怏w，通常在氮?dú)庵行枰獧z測微量水含量，而英國肖氏進(jìn)口露點(diǎn)儀在這種應(yīng)用中很常見。

現(xiàn)代社會里，氣體是*的一個重要組成部分。在衣食住行的各個環(huán)節(jié)，幾乎都離不開氣體。以芯片制造廠為例，他們在生產(chǎn)芯片的薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積和擴(kuò)散過程中，就少不了電子氣體。不同領(lǐng)域?qū)怏w的要求不一樣，給供應(yīng)商提出了*的技術(shù)要求。在發(fā)展多年之后，的氣體供應(yīng)以四大供應(yīng)商主導(dǎo)，分別是林德集團(tuán)、法國液化空氣集團(tuán)、普萊克斯和空氣產(chǎn)品公司。
氣體如此重要，甚至連它們的提取、儲存、運(yùn)輸和轉(zhuǎn)充都給人帶來了極大的神秘感。為了對這個產(chǎn)業(yè)有更多的了解，半導(dǎo)體行業(yè)觀察記者近日走訪了林德集團(tuán)在中國的幾家工廠，為大家揭開其神秘的面紗。半導(dǎo)體制造業(yè)中氮?dú)庵械脑诰€露點(diǎn)儀選用英國肖氏進(jìn)口露點(diǎn)分析儀
空氣分離裝置是根本主要產(chǎn)品：SADP露點(diǎn)儀|在線露點(diǎn)儀| 肖氏露點(diǎn)傳感器|肖氏露點(diǎn)儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點(diǎn)儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點(diǎn)儀品牌|露點(diǎn)儀價格|露點(diǎn)儀批發(fā)|露點(diǎn)儀廠家
行內(nèi)的人都知道，林德集團(tuán)創(chuàng)始人卡爾林德的一大貢獻(xiàn)就是發(fā)明了空氣液化分離。
公開資料顯示，1895年，德國人卡爾·林德研究成功了一次節(jié)流循環(huán)液化空氣的方法，這是*簡單的深度冷凍循環(huán)。它采用節(jié)流膨脹和逆流換熱，稱為林德循環(huán)。1902年，德國林德公司制成了**套林德循環(huán)單級精餾工業(yè)裝置，自此開始了林德集團(tuán)在氣體領(lǐng)域的偉大征程。
據(jù)林德電子市場開發(fā)負(fù)責(zé)人Paul Stockman博士介紹，林德在過去的一百多年里通過其旗下的林德工程向80個國家和地區(qū)提供了3000套裝置，而公司旗下的林德氣體擁有和運(yùn)營400套。通過這些裝置，能夠為的客戶提供氧氣和氮?dú)獾葰怏w供應(yīng)，滿足他們的需求。設(shè)計和建造空氣分離裝置是林德傳統(tǒng)業(yè)務(wù)的一部分，一切都得益于他們在空氣分離技術(shù)方面的積累。聯(lián)華工業(yè)氣體(蘇州)有限公司工廠經(jīng)理李慧崗也表示，自1902年制造**套制氮機(jī)以來，空氣液化分離一直林德的專長。半導(dǎo)體制造業(yè)中氮?dú)庵械脑诰€露點(diǎn)儀選用英國肖氏進(jìn)口露點(diǎn)分析儀主要產(chǎn)品：SADP露點(diǎn)儀|在線露點(diǎn)儀| 肖氏露點(diǎn)傳感器|肖氏露點(diǎn)儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點(diǎn)儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點(diǎn)儀品牌|露點(diǎn)儀價格|露點(diǎn)儀批發(fā)|露點(diǎn)儀廠家
林德的空氣分離原理
從他的介紹中我們得知，林德的空氣分離工藝流程分為五個部分，分別是Air Compression（空氣壓縮）、Air Purification（空氣凈化系統(tǒng)）、Cooling and Re-warming（冷卻和再加熱）、Separation by distillation（蒸餾分離）和后備系統(tǒng)。
具體操作是首先在Air Compression環(huán)節(jié)將空氣壓縮到一定壓力等級并冷卻到環(huán)境溫度；然后在第二步（Air Purification）通過預(yù)純化裝置（PPU）帶催化劑，去除空氣中的雜質(zhì)，把空氣中的水分**掉；到了Cooling and Re-warming（冷卻和再加熱），則通過熱交換器對壓縮空氣進(jìn)行冷卻，把正常的空氣溫度冷卻（通常會達(dá)到-174到-175左右），這時候空氣就接近于液化溫度；Separation by distillation（蒸餾分離）則是林德比較優(yōu)勢的一個工藝，經(jīng)過這一步，空氣就能進(jìn)入精餾塔底部，經(jīng)過深度冷卻分離，從頂部抽取高純氮?dú)狻?/span>主要產(chǎn)品：SADP露點(diǎn)儀|在線露點(diǎn)儀| 肖氏露點(diǎn)傳感器|肖氏露點(diǎn)儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點(diǎn)儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點(diǎn)儀品牌|露點(diǎn)儀價格|露點(diǎn)儀批發(fā)|露點(diǎn)儀廠家同時可以經(jīng)過工藝調(diào)整，在冷箱上附設(shè)氧氣精餾塔，用以生產(chǎn)高純度氧氣；
“通常，從這個氮?dú)庋b置里面生產(chǎn)出來的產(chǎn)品會達(dá)到20個PPB以下，再經(jīng)過純化系統(tǒng)可以達(dá)到1個PPB以下滿足客戶的需求”，李慧崗強(qiáng)調(diào)。半導(dǎo)體制造業(yè)中氮?dú)庵械脑诰€露點(diǎn)儀選用英國肖氏進(jìn)口露點(diǎn)分析儀
*后，林德還提供一個后備系統(tǒng)，將富余產(chǎn)品經(jīng)過液化后存儲在儲罐中備用。它的主要作用就是說在裝置遇到緊急情況的時候，這個后備系統(tǒng)的富余氣體能補(bǔ)充到整個管網(wǎng)里面，確保整個管網(wǎng)的平穩(wěn)運(yùn)行。
通過空氣分離裝置、氦氣與合成氣體裝置、天然液化氣裝置與石化裝置，林德集團(tuán)在國內(nèi)獲得了客戶的高度認(rèn)可。他們生產(chǎn)的各種氣體也能通過多樣化的傳送方式為客戶提供高品質(zhì)的服務(wù)。主要產(chǎn)品：SADP露點(diǎn)儀|在線露點(diǎn)儀| 肖氏露點(diǎn)傳感器|肖氏露點(diǎn)儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點(diǎn)儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點(diǎn)儀品牌|露點(diǎn)儀價格|露點(diǎn)儀批發(fā)|露點(diǎn)儀廠家

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